7708 - Module pédagogique d'initiation à la microélectronique : Initiation à la microélectronique intégrée

Description bibliographique

Auteur :

Bonnaud, Olivier ; Diaconescu, Constantin ; Chartier, Eric ; Vermeulen, Samuel ; Münster, Peter ; Campion, Sébastien ; Danilovic, Dojan ; Luukko, Antti ; Luukko, Johanna ; Salo, Jussi ; Peipponen, Mikko ; Roihuvuo, Jyri ; Silventoinen, Pertti (EAEEIE. European Association for Education in Electrical and Information Engineering. Nancy. France)

Éditeur :

EAEEIE. European Association for Education in Electrical and Information Engineering. Nancy. France

Page source :

Module pédagogique d'initiation à la microélectronique, http://www.microelectronique.univ-rennes1.fr

Langue :

français ; finlandais ; roumain ; anglais

Description du contenu

Spécialité :

Electronique, informatique et télécommunications - Matériels - Matériaux électroniques

Mots clés :

purification ; silicium ; fabrication ; plaquette ; épitaxie ; diffusion ; implantation ionique ; oxydation ; dépôt ; gravure ; photolithogravure ; semi-conducteur ; dopage ; électron ; proton

Table des matières :

1 - Introduction
2 - Purification du silicium
3 - Fabrication des plaquettes
4 - Epitaxie
5 - Diffusion
6 - Implantation ionique
7 - Oxydation
8 - Dépôts
9 - Gravure
10 - Photolithogravure
11 - Procédés de fabrication
12 - Améliorations des procédés
13 - Evolution des technologies
14 - Bibliographie

Résumé :

Ce cours d'initiation à la microélectronique présente les étapes nécessaires à la fabrication d'un circuit intégré, étapes permettant de faire évoluer la matière depuis son état naturel et désordonné (le sable) vers une structure de grande complexité et la mieux ordonnée possible. Par la suite, chacune de ces étapes sera intégrée dans des séquences précises de manière à définir une filière technologique. A la fin de chaque chapitre, un contrôle des connaisances est proposé et ce afin d'évaluer les acquis (il est proposé sous deux formules : "expert" et "débutant").

Informations pédagogiques

Niveau d'études :

2e cycle

Pré-requis :

Connaissances de base en physique, électricité, chimie, mathématiques. Connaissances en physique des semi-conducteurs et dispositifs électroniques, électronique des circuits.

Objectifs pédagogiques :

Comprendre la technologie microélectronique et le cycle de fabrication des semi-conducteurs.

Accès à la ressource

Format :

HTML

URL de référence :

http://www.microelectronique.univ-rennes1.fr/index21.html

Notice mise en ligne le 10/02/2005