1632 - L'ablation laser pour l'élaboration de dépôts à structure et composition complexes. Cas des tellurures conducteurs Nb5Te4 et NbTe2

Description bibliographique

Auteur :

Sassoli, Hervé (Université de la Méditerranée, Aix-Marseille 2. Faculté des Sciences de Luminy. France)

Page source :

Site personnel d'Hervé Sassoli, http://sassoli.free.fr/

Langue :

français

Diplôme :

Thèse, sciences des matériaux

Date de publication :

1998/06

Description du contenu

Spécialité :

Sciences exactes - Physique - Physique atomique et moléculaire

Mots clés :

tellurure de niobium ; ablation laser ; spectroscopie d'émission et de temps de vol ; couche mince ; diffraction de rayons X ; microscopie à force atomique ; microanalyse X ; force atomique ; microanalyse X

Table des matières :

Introduction
1 - Elaboration de couches minces par ablation laser
2 - Les chalcogénures de métaux de transition
3 - Techniques et dispositifs
4 - Etude du plasma
5 - Etudes des dépôts réalisés à température ambiante
6 - Etudes dépôts réalisés sur des substrats chauffés
Conclusion

Résumé :

Le mémoire de thèse porte sur l'élaboration de tellurures de niobium en couches minces. Le cumul de leurs propriétés physiques anisotropes (conductivité électrique, aptitude à la lubrification, réflectivité et réactivité chimique) nous parait intéressant pour plusieurs types d'applications et notamment dans le domaine de la micro-électronique. Le Groupe de Physique des États Condensés de la Faculté des Sciences de Luminy (GPEC) s'intéresse depuis plusieurs années aux chalcogénures de métaux de transition et plus particulièrement aux tellurures; certains ont été élaborés sous forme massive (ZrTe3, ZrTe5, Nb3Te4, NbTe2 et NbTe4) ou en couches minces (Nb3Te4 et NbTe2).

Accès à la ressource

Format :

HTML

URL de référence :

http://www.ifrance.com/sassolithese/cadre107.htm

Notice mise en ligne le 20/07/2002